Georg-Simon-Ohm-Preis 2015 der Deutschen Physikalischen Gesellschaft

Maik Schönfeld
Bild: privat

Dipl.-Ing. (FH) Maik Schönfeld

Westsächsische Hochschule Zwickau

 

Für seine Abschlussarbeit im Masterstudiengang Nano- und Oberflächentechnologien:   „Theoretische Beschreibung des Trocknungsverhaltens dicker Photoresistschichten und des beladungsinduzierten Eigenfrequenzshifts von MEMS-Komponenten“


Mit seinem Thema „Theoretische Beschreibung des Trocknungsverhaltens dicker Photoresistschichten und des beladungsinduzierten Eigenfrequenzshifts von MEMS-Komponenten“ leistet er einen wichtigen Beitrag zum tieferen Verständnis für die Resisttrocknung mit hohem Anwendungspotenzial in der Mikrosystemtechnik.“

 

In seiner Masterarbeit gibt Herr Schönfeld eine exzellente theoretische Beschreibung des infra-rot-gestützten Trocknungsprozesses dicker Fotolackschichten auf der Basis von Diffusionsprozessen und unter Berücksichtigung experimenteller Messdaten der Polymermatrix, wodurch eine verbesserte Prozesssteuerung und Reproduzierbarkeit industrieller Lithographie- und Abformprozesse möglich wird. Seine Arbeit macht den Weg frei für innovative Dickschicht-Fotoresist-Applikationen.

 

Seit mehreren Jahren arbeitet Herr Schönfeld aktiv und engagiert in Drittmittelprojekten der Westsächsischen Hochschule Zwickau mit und stärkt damit direkt den Forschungsschwerpunkt Mikrosystemtechnik. Besonders hervorzuheben ist, dass er im dualen Studium praxisnah ausgezeichnete Ergebnisse erzielen konnte, die in 13 wissenschaftlichen Beiträgen dokumentiert sind und unter anderem als Best Poster Award eine internationale Auszeichnung erhielten.

 

Die Auszeichnung wurde im März 2015 während der DPG-Jahrestagung in Berlin überreicht.